當(dāng)掃描電鏡的電子束轟擊試樣表面時，電子束會進(jìn)入試樣內(nèi)部，產(chǎn)生散射現(xiàn)象，電子束在散射后會改變前進(jìn)方向，而且還會損失部分能量，隨之而來產(chǎn)生各種其他信息，如熱、俄歇電子、X射線、可見光、二次電子、背散射電子等。

當(dāng)入射電子與試樣相互作用后，其中有一部分電子會返回表面逸出，則這部分被返回表面逸出的原入射電子被稱為背散射電子。在實(shí)際成像過程中，通常以能量大小對電子信息進(jìn)行分類，能量大于50eV而小于入射束能量E₀的電子稱為背散射電子，大部分背散射電子的能量約為原入射能量E₀的0.7～0.9倍。利用背散射電子來成像所獲得的圖像稱為背散射電子像。背散射電子像在電鏡成像中的使用率和圖像的分辨力也都比較高，僅次于一次電子像。

背散射電子像具有下列基本性質(zhì)和特點(diǎn)：

（1）其成像信息主要來自于返回試樣表面的原一次電子，大部分電子的能量基本接近于原入射電子的能量。

（2）由于入射電子在試樣中產(chǎn)生背散射電子的區(qū)域比二次電子的區(qū)域深、范圍大，故背散射電子像的幾何分辨力遠(yuǎn)不如二次電子像，對于中等或以上元素的分辨力與二次像相比約差2.5倍以上。

（3）由于背散射電子的能量較大，故其出射方向基本不受試樣表面弱電場的影響，而且類似于點(diǎn)光源的形式以直線方式沿其徑向軌跡散射開來。因此，只有出射方向正對著探測器的背散射電子才可以進(jìn)入探測器中。當(dāng)背散射探測器的有效面積所覆蓋的立體角越大時，其接收效率越高，信噪比也越好，圖像分辨力越能得到改善。

（4）背散射電子的空間角度分布與入射電子和試樣表面的入射角有關(guān)。

（5）高角度（>30°）的背散射像適宜于顯示原子序數(shù)襯度;低角度(<30°)的背散射像適宜于顯示試樣表面的幾何形貌襯度。

在掃描電鏡中，非彈性散射的背散射電子的能量分布范圍很寬，從幾十eV到幾十千eV。從數(shù)量上看，彈性背散射電子所占的份額遠(yuǎn)比非彈性背散射電子多。

背散射電子的激發(fā)深度隨加速電壓的升高而增大，對于中等原子序數(shù)的元素來說，背散射電子的產(chǎn)生深度主要來自于距試樣表面約lum深度內(nèi)的信息，輕元素和超輕元素試樣的背散射電子的產(chǎn)生深度可達(dá)試樣表面以下2~3um。在一定的加速電壓下，由于背散射電子的產(chǎn)額基本上隨試樣原子序數(shù)的增高而增加。所以，利用背散射電子作為成像信號不僅能分析試樣形貌特征(純形貌像)，而且還可用于顯示試樣化學(xué)組分的組成特征(原子序數(shù)襯度像)，在一定的范圍內(nèi)能粗略進(jìn)行定性分析試樣表面的化學(xué)組分分布狀況。

以上就是澤攸科技小編介紹的掃描電鏡中背散射電子的特點(diǎn)和作用。秉承操作便捷、快速成像、性能穩(wěn)定的設(shè)計目標(biāo)，澤攸科技自主研發(fā)了ZEM15臺式掃描電鏡，更多關(guān)于掃描電鏡的問題